光氧氣味處理設備采用雙介質阻擋放電形式產生等離子體，所產生等離子體的密度是其他技術產生等離子體密度的1500倍，初用于氟利昂類、哈隆類物質的分解處理，后延伸至工業惡臭、異味、氣體處理。該技術節能、環保，應用范圍廣，所有化工生產環節產生的惡臭異味幾乎都可以處理，并對二惡英有良好的分解效果。

等離子體工業廢氣處理技術已研制出標準化廢氣治理設備，利用所產生的電子、自由基等活性粒子、電離、裂解工業廢氣中的各組成份，使之發生分解，氧化等一些列復雜的化學反應，再經過多級凈化，從而各種污染源排放的異味、臭味污染物，使氣體達到低毒化、化，保護人類生存環境。由于其對污染物分子的分解且處理能耗低等特點，為工業廢氣的處理開辟了一條新的思路。

等離子體反應區富含的物質，如電子、離子、自由基和激發態分子等，廢氣中的污染物質可與這些具有較量的物質發生反應，使污染物質在的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以達到講解污染物的目的。與傳統的電暈放電形勢產生的低溫等離子技術相比較，等離子體技術放電密度是電暈放電的1500倍，這就是傳統低溫等離子體技術治理工業廢氣以失敗而告終的原因。

與目前國內常用的異味氣體治理方法相比較，等離子廢氣處理設備具有以下特點：

低溫等離子體技術應用于惡臭氣體治理，具有處理效果好，運行費用低廉、無二次污染、運行穩定、操作管理簡便、即開即用等優點。

現今市場上大部分使用的是微波光氧凈化廢氣處理設備，主要是因為設備內部使用的子網紫外燈光作為分解汞氣體的物質且不會產生二次污染，因為使用的是燈管所以不用使用其他的催化劑或吸附劑降低了后期設備的運營成本。

光氧廢氣處理設備的大體過程為惡臭氣體利用排風設備輸入到本凈化設備后，凈化設備運用UV紫外線光束及臭氧對惡臭氣體進行協同分解氧化反應，使惡臭氣體物質其降解轉化成低分子化合物、水和二氧化碳，再通過排風管道排出室外。等離子體反應區富含的物質，如電子、離子、自由基和激發態分子等，廢氣中的污染物質可與這些具有較量的物質發生反應，使污染物質在的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以達到講解污染物的目的。與傳統的電暈放電形勢產生的低溫等離子技術相比較，等離子體技術放電密度是電暈放電的1500倍，這就是傳統低溫等離子體技術治理工業廢氣以失敗而告終的原因。

從原理上分析，光氧廢氣處理設備利用高臭氧UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產生游離氧，即活性氧，因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與分子結合，進而產生臭氧。UV＋O2→O-+O＊(活性氧)O+O2→O3(臭氧)，眾所周知臭氧對物具有的氧化作用，對惡臭氣體及其它刺激性異味有的效果。

光氧氣味處理設備運行成本較低，比常用的蓄熱式燃燒爐RTO節約運行費用5-8倍，每立方米氣量運行費用僅為0.3～0.9分錢，部分廢氣可以通過空氣稀釋后用技術處理；

光氧氣味處理設備應用范圍廣闊，基本不受氣溫和污染物成分的影響，對惡臭異味的臭氣濃度有良好的分解作用，惡臭異味的去除率達80-，處理后的氣體殠氣濃度達到標準；

光氧氣味處理設備技術處理工業廢氣技術不是水洗技術，是通過量等離子體對污染物的直接擊穿和直接轟擊，使分子鏈斷裂，并非污染物的轉移；

工業廢氣處理該設備適用范圍廣泛，可用于石油化工、制藥行業、飼料和肥料加工廠、畜牧產品農場、化纖廠、皮革廠、制漿廠、污水泵站、各類污水處理廠、涂料、食品填加劑廠、皮革加工、感光材料、汽車制造以及公廁、糞便轉運站等諸多行業存在的廢氣、異味、惡臭等污染問題。既可應用于工業廢氣的治理，也可應用于室內空氣凈化等，是一項用途極為廣泛的新型空氣環境潔凈技術和產品。

低溫等離子體用于廢氣的凈化具有很多的優勢。1）由于等離子體反應器幾乎沒有阻力，系統的動力消耗非常低；2）裝置簡單，反應器為模塊式結構，造價低，并且容易進行搬遷和安裝；3）由于不需要任何的預熱時間，所以該裝置可以即時開啟與關閉；4）所占空間比現有的其他技術更小；5）抗顆粒物干擾，便于維護。